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代表着溶胶凝胶法制备多层减反膜的最高水平。由三层折射率渐变的MgF2/SiO2混合膜构成，对1053nm、527nm、351nm三个波长的透射率同时达到99.6%以上，可以有效消除高功率固体激光器窗口元件表面的杂散光。